产品介绍

Mix Gas

Items Purity Package 充装量 适用工艺
Cylinder Valve
Excimer Laser 1.25% Kr
3.5%Ar/10ppmXe
47L JISS22R, CGA580, CGA679 135kg/cm2 Photo 工艺
1% F₂ / 1.25% Kr
1% F₂ / 3.5% Ar
135kg/cm2 Photo工艺
PH₃ Mix 20ppm ~ 50% PH₃ Mixture 47L CGA350 100 ~ 120kg/cm2 Dopant工艺
Inert Mix 3% H₂ & 1.2% He Mixture 47L DISS724, JISS22R 110 ~ 120kg/cm2 Photo工艺
SiH₄ Mix 10ppm ~ 50% SiH₄ Mixture 47L JISS22L, CGA350 100 ~ 120kg/cm2 LED 沉积工艺
Si₂H₆ Mix 100ppm ~ 50% Si₂H₆ Mixture 47L CGA350 120kg/cm2 LED沉积工艺
F₂ Mix 1% ~ 20% F₂ Mixture 47L CGA679 110 ~ 120kg/cm2 清洁工艺
AsH₃ Mix 15% AsH₃ Mixture - CGA350 400psi Dopant 工艺
GeH4 Mix 10% GeH4 Mixture 47L DISS632 1800psi 沉积工艺

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TEL +82-43-713-1522 / E mail : ylzhang@hansol.com